高强度、相干光束被用作传输数据的一种越来越普遍的手段。与使用金属导体的电缆相比,光纤以更低的成本、更低的重量和单位长度的体积提供更高的数据速率。
众所周知,有各种各样的装置可以控制光束。其中一个是光纤衰减器.
一种典型的光学衰减器被描述和显示在美国NO。布朗,Jr.ct al.平面镜反射输入光束。聚焦镜接收从平面镜反射的光束,使聚焦镜反射的光束的轴偏移于输入光束的轴,并平行于输入光束的轴。针孔组件接收从聚焦镜反射的光束。针孔组件具有位于由聚焦镜反射的光束的轴上的针孔。伺服电机在与输入光束的轴平行的方向上,一致地相对于针孔组件驱动平面镜和聚焦镜。镜子的平行运动改变了通过针孔的输入光束的比例。伺服机构是笨重的,需要一个相对较长的时间来移动镜子相对于针孔组件。
本发明是一种可变光衰减器(VOA),其具有半导体微电子机械装置,用于将反射表面定位在多个位置中的任何位置,每个位置分别提供不同的衰减量。
所述可变光衰减器包括Icns、第一光波导和第二光波导。半导体微电子机械装置位于所述透镜的与第一和第二光波导相对的一侧。该装置具有反射面。反射表面具有一个正常位置,其中来自第一波导的光从反射表面反射并通过透镜进入第二波导。反射表面具有多个分别不同的衰减位置,其中来自第一波导的光从反射表面反射并通过透镜,但进入第二光波导的光量分别被对应于分别不同位置的不同量衰减。
根据本发明的另一个方面,一种用于控制光束的方法,包括提供透镜、第一和第二光波导以及位于透镜相对于第一和第二光波导的一侧的半导体微电子机械装置。具有反射表面的器件。反射表面被旋转到一个正常位置,其中来自第一波导的光从反射表面反射并通过透镜进入第二波导。反射表面被旋转到多个分别不同的衰减位置,其中来自第一波导的光从反射表面反射并通过透镜,但进入第二光波导的光量分别被对应于分别不同位置的不同量衰减。
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