基于MEMS的可变光衰减器

众所周知,光纤衰减器用于光纤通信,如vwin真人娱乐vwin真人娱乐光纤测试仪通过临时添加校准的信号损失量或永久安装以正确匹配发射机和接收机电平来测试功率水平余量的工具。根据光纤衰减器的稳定性,将其分为固定光纤衰减器和可变光纤衰减器。vwin真人娱乐可变光纤衰减器一般vwin真人娱乐采用可变中性密度滤波器,具有稳定、波长不敏感、模式不敏感等优点,可提供较大的动态范围。

随着光通信系统流量的迅速增加,开发波分复用(WDM)传输设备成为主流技术,以提供更高的传输速度和更多的信号通道。有人提出,在未来的波分复用系统中,由于波长而引起的功率变化可以减少,通过调整分解成单个信号波长后的功率来提高传输质量。据设想,目前的方法,其中所有多路复用光信号的功率由一个可变光衰减器(VOA)调整,将让路给一个VOA用于每个波长的方法。考虑到多路复用波长的数量,这种变化将需要更加紧凑的voa。在此背景下,利用微机电系统(MEMS)技术开发了具有低波长依赖性损耗特性的VOA。

本文研制的VOA采用单模光纤作为输入和输出,采用与SMF熔断器剪接一定长度相同直径125um的渐变折射率光纤,形成具有透镜功能的光学耦合。在GIF(分级折射率光纤)的尖端涂上一层抗反射涂层。GIF尖端被打磨成一定角度,这样从GIF末端发出的光束就不会与光纤的光轴对齐,而是与光纤成一定角度。通过电感耦合等离子体深度反应离子蚀刻形成的快门来中断这个角度的光束。MEMS芯片使用绝缘体上硅晶片,通过ICP-DRIE在芯片上同时形成快门、驱动器和光纤槽,然后在整个芯片上进行金属气相沉积。

MEMS芯片的执行机构为梳状,动图通过胶粘剂固定在光纤槽内。采用该动图光耦合系统的MEMS芯片通过胶粘剂固定在密封的壳体内。

MEMS可变光衰减器有三种不同的配置。VA系列工作在传输,而VP系列使用反射调制衰减。VX系列是薄荷塑料包装的VP或VA系列。在性能方面,VP系列实现了更低的插入损耗和更好的极化依赖损耗特性。而VA系列允许更容易的阵列集成,是较低的成本。

FiberStore提供全系列的光衰减器变量测试人员通常与有源系统组件结合使用,以保持网络上的光功率,即使输入信号的功率发生变化。我们的自动可变光衰减器专门设计用于具有单独信道源元件的DWDM网络,如添加/删除发射机。我们的自动可变光衰减器的成本和性能特点是专门针对这些设备的批量使用作为主要的DWDM信道稳定组件。

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